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第18章 设备故障（第5页）

“1区和2区已经完成第一轮培育。”

万里看着手里的记录参数。

“1区的裂片率133，高于历史平均值71，内部缺陷率94，高于历史平均值51，外部缺陷率213，高于历史平均值73。”

“2区的裂片率、内外部缺陷率也会比历史平均值高一到两个百分点。”

“只是没有1区那么严重。”

万里语气略微停顿。

“1区的主要问题可能与第一次调试时的断电有关。”

“其中有几台因为裂片率过于严重，已经搁置在一边没有使用。”

“这个是1区详细的培育数据。”

汇报完毕万里把记录表递给周淮生。

周淮生看了一眼。

又看了看设备，问道。

“断电之后设备里有什么东西换过吗？”

“没有，所有线路、元器件，包括继电器都检查过，并没有什么问题。”

“腔体的压力值测过吗？”

“侧过，压强和功率都正常。”

“关机那几台长出来的东西在哪里？”

有人去拿过来递给他。

周淮生把它放在高倍镜下观察，可以看到白黄交替的明显分层线。

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