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第58章 询问光刻机进度解决麻烦（第2页）

林煜环顾四周，看着科研人员们忙碌的身影，脸上露出了满意的微笑。

他转向王国平说：“王院士，你们的工作进展得很快，我很高兴。

光刻机的复刻工作对于我们公司来说意义重大，希望你们能继续保持这种高效的工作状态。”

王国平点了点头，“请林总放心，我们一定会全力以赴，争取早日完成复刻工作。”

后面，李会民、朱文军等一众院士纷纷围了过来，他们的脸上都带着凝重的神色。

在这个关键时刻，每一个科研进展都牵动着他们的心。

林煜看大家都到齐了，便趁机开了一个小会。

他环顾四周，目光在每位院士的脸上都停留了片刻，然后缓缓开口问道：“我们现在的难题有哪些？”

众院士面面相觑，最后由朱文军回答道：“这个难题可不少。

从硅晶圆、光刻胶、离子植入到封装测试，我们几乎都没有自主技术。

尤其是光刻机，现在需要的东西都比较精密，我们目前的技术水平还无法完成自主制造。”

他顿了一顿，接着说：“不过这些我们也知道可以找各大厂商购买，但清单中有一样东西现在是买不到的。”

“哦？是什么东西？”

林煜好奇地问道。

“是深紫外激光器。”

朱文军解释道。

“这种激光器可以利用非线性光学晶体进行波长转换，射出深紫外光。

这是我们目前无法达到的技术水平，我们需要更小的n激光器来提高光刻分辨率，至少要达到8on，当然如果能达到65n那就更好了。”

林煜听后若有所思地点了点头：“那我们现在有在研究这个技术吗？”

“有的，我们已经派人去安徽光机所求援了。”

李会民接话道。

“他们那边有专业的科研团队和先进的设备，希望能有所突破。”

“那他们预计能在什么时候完成研究？”

林煜追问。

“我们已经把光刻机上面，那台深紫外激光器拆了。

拿过去给他们研究。

据那边的科研人员说，只需要3个月左右就可以有所进展。”

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